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多級羅茨泵和濕式羅茨泵的噪聲機理與消聲原理
多級羅茨泵的工作特點也是極限壓力下噪聲最大,雖然一般多級羅茨泵的抽速都不大,但由于“聲波堆集”作用,泵的噪聲仍然較大。濕式羅茨泵也屬直排大氣羅茨泵,它的噪聲機理也與氣冷式羅茨泵相似,但因為在泵入口摻入少量
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渦旋真空泵的設計、工藝的技術問題
渦旋真空泵是一種新型的無油直排大氣機械泵, 它具有動力傳遞簡單、氣體流動損失小、運行平穩、結構簡單緊湊、密封性能好、消耗功率小、振動噪聲低、可靠性高等優點。本文探討了它的設計和工藝技術問題。
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渦旋真空泵的工作原理、結構特點及應用領域
渦旋真空泵的工作腔是由一對型線共軛的渦旋盤付嚙合安裝組成。具有較高的壓縮比,在較寬的壓力范圍內具有穩定的抽速,是分子泵和小型低溫泵的前級泵是獲得無油真空系統的最佳配置。
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分子束質譜裝置及差分抽氣系統
分子束質譜裝置及差分抽氣系統裝置主要由氣體反應室、三 級渦輪分子泵差分抽氣系統和四極質譜儀(QMS) 三部分組成。在氣體反應室中,可用加熱、放電、激光和粒子束等手段引發各種亞大氣壓物理-化學過程。
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