機(jī)械真空泵
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干式羅茨真空泵內(nèi)氣體流動的CFD 模擬
本文基于動網(wǎng)格方法建立了多級干式羅茨真空泵的三維瞬態(tài)數(shù)值模型,計算了真空泵的性能參數(shù),分析了泵內(nèi)的流動過程、現(xiàn)象和流場的主要特征。為研究和分析多級干式真空泵的設(shè)計問題提供了手段和參考。
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基于有限元方法的渦輪分子泵轉(zhuǎn)子系統(tǒng)模態(tài)分析
渦輪分子泵是一種依靠高速運(yùn)動的剛體表面“拖動”氣體分子作定向運(yùn)動、實現(xiàn)氣體抽出、獲得高真空和超高真空的精密動量傳遞式機(jī)械真空泵。
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干泵及其在大半導(dǎo)體領(lǐng)域的應(yīng)用
通過對大半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展趨勢以及真空應(yīng)用設(shè)備的需求分析,介紹了干泵在大半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域的應(yīng)用
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噴嘴流量計與真空滴管流量計的研究
本文對機(jī)械真空泵測試中常用的幾種流量計進(jìn)行了討論,尤其對噴嘴流量計從測量原理上進(jìn)行了探討,研究了減少測量誤差的措施。著重對滴管流量計量程向小流量方向拓展進(jìn)行了深入的研究,提出了真空滴管式流量計的設(shè)想,完善
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羅茨泵機(jī)組壓差可調(diào)式溢流閥的設(shè)計和應(yīng)用
在真空系統(tǒng)中,特定工作單元的壓差控制十分重要。本文以羅茨真空機(jī)組配置的溢流閥為例,介紹了壓差可調(diào)式溢流閥的設(shè)計和應(yīng)用。
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高壓強(qiáng)分子泵在節(jié)能燈制作工藝中的應(yīng)用
本文主要介紹高壓強(qiáng)分子泵在節(jié)能燈圓排車制造中的替代羅茨泵應(yīng)用,經(jīng)實驗,減能增效效果顯著,具有較大的推廣意義;并以此拋磚引玉,促進(jìn)分子泵在照明行業(yè)的應(yīng)用,提高生產(chǎn)效能,降低能耗和制造成本,保證產(chǎn)品質(zhì)量。
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加氫裝置原料泵的故障分析及處理
多級離心泵軸向力的設(shè)計及平衡對泵的正常使用有著重要的影響。本文以某石化公司加氫裝置原料泵為例,介紹了鼓盤鼓平衡機(jī)構(gòu)在多級泵中的應(yīng)用特點(diǎn),并對加氫裝置原料泵出現(xiàn)的故障問題進(jìn)行分析和解決。
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滑閥真空泵性能再探——抽氣速率
滑閥真空泵的抽氣效率與泵各零部件之間的間隙有非常密切的關(guān)系,在充分考慮被抽氣體的成分、工作溫度、和粉塵等條件下,適當(dāng)減小間隙,有利于抽氣效率的提高。
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螺桿真空泵單頭等螺距內(nèi)凹轉(zhuǎn)子型線研究
基于螺桿嚙合原理, 通過數(shù)學(xué)推導(dǎo),得到單頭等螺距梯形內(nèi)凹型線的完整型線方程, 包括齒面方程、端面截形以及軸向截形。
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