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气体捕集真空泵

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推荐集成电路制造中低温泵的应用及产品发展现状

本文介绍了国内集成电路制造中进口低温泵产品的技术发展现状，并对比了不同产品的技术特点。阐述了国产低温泵进军集成电路制造业的历程与现状。

高速电动涡轮-压气机的性能测试结果分析

高速电动涡轮－压气机组件性能试验的结果，一方面证明将高速电机引入传统涡轮－压气机组件而形成的结构方案具有较好的运行稳定性和可行性，另一方面也说明高速电机的驱动作用可提高空气循环机转子的旋转速度，增大涡
高速电动涡轮-压气机组件性能测试

高速电动涡轮－压气机组件具有结构紧凑、能量输出能力强等优点，可以根据需要方便地提供制冷空气。由该组件构成的空气循环制冷系统可提高环境控制系统的可控性和节能效果，丰富空气循环制冷的应用领域，是一种很有前
高速电动涡轮-压气机组件试验方法

介绍了一种高速电机驱动的新型涡轮－压气机组件的工作原理和设计方法，并对组件进行了性能试验。
微型离子泵抽速测试结果及误差分析

用高纯氮气为抽速测试气体,离子泵对N2 抽速≥013 L/ s。根据二极型溅射离子泵对不同气体抽速的经验比值可知,溅射离子泵对N2 抽速为对干燥空气抽速的85%。
动态流导法测溅射离子泵抽速原理与步骤

参考机械行业标准JB/T2965,探讨了微型溅射离子泵性能测试实验方法,改建了实验系统,测量了微型溅射离子泵各项性能指标。
微型溅射离子泵测试系统及测试方法

参考国内外溅射离子泵的测试方法和行业标准,提出了微型溅射离子泵性能的测试方法,并利用现有实验设备设计了测系统,实际测试了微型溅射离子泵的各项性能指标。
大型氦制冷低温真空系统的其它一些参数设计

介绍了我国某大型空间环境试验设备中的大型氦制冷低温真空系统的设计研究工作, 对设计研究中的一些技术问题进行了研究探讨。
氦制冷低温真空系统的抽速和热负荷的最佳化设计

影响大型氦制冷低温真空系统抽速和热负荷的主要结构参数相互制约, 需要通过蒙特卡洛方法进行最佳化设计。
大型氦制冷低温真空系统主要结构设计

大型氦制冷低温真空系统的主要技术性能基本上可以由系统抽速、系统降温时间和抽气面积三项指标来表达。氦制冷系统的制冷功率对大型氦制冷低温真空系统的主要技术性能的影响也是很大的。
冷凝泵的常规维护保养

冷凝泵的常规维护保养知识
冷凝泵的基本原理与制冷过程

G-M循环冷冻机的降温过程是吸收外部热量下降自身温度的过程,从能量守恒的角度来分析,正好与活塞对外做的功相等。这就是制冷的基本原理。
冷凝泵的内部构造特点

冷凝泵的内部件主要包括导流板、辐射罩、冷板、温度计、一级冷头、二级冷头、冷冻机、活塞连杆、蓄冷器等等。
低温泵再生起始和结束的判断方法

讨论了再生过程中再生起点和再生终点的判断方法以及低温泵冷头温度的测量方法。
制冷机低温泵的常见再生方式

低温泵捕集的气体可以以固态、气态或液态方式除去, 由于以固态方式除去冷凝物存在很多技术难题,根据加热方式的不同, 再生方式一般分为:自然加热再生、气体冲洗再生、电加热再生三类。
在线处理分子筛纯化系统阀门故障

介绍分子筛纯化系统可以在线处理的阀门故障和处理措施, 结合再生气出口阀不停车更换的实际操作, 总结不停车处理阀门故障的操作经验。
溅射离子泵泵体发烫故障原因分析

溅射离子泵泵体发烫故障的发生通常是由于泵内压强过高或者油气进入。
溅射离子泵抽速或真空度下降的故障分析

溅射离子泵抽速或真空度下降可能因为离子泵漏气、离子泵吸气剂饱和、离子泵泵体重装后处理不当等原因造成的。
冷阱的启动压强和冷却冷阱需要的液氮量

冷阱通液氮越早, 液氮消耗量越大, 通液氮越晚, 挡油效果越差。冷阱正常工作前, 必须由300 K 降到80 K 左右, 此间冷却内胆和障板要消耗液氮。这就需要通过对内胆和障板传热计算液氮量。
冷阱的主要参数设计计算

讲叙了冷阱的主要参数计算，冷阱流导、液氮胆与外壳的设计、冷阱热负荷的计算、障板的设计等等。
低温泵故障对低温泵抽气性能的影响

氦气的压力不足时会影响低温泵的制冷效率，低温泵的噪音只出现在低温泵处于低温时。此时极有可能是低温泵的氦气受到污染, 需要进行除污染程序。