表面形貌對薄膜疏水性能研究

馬國佳^1,2 鞏水利² 張 林¹ 林國強¹ 王明娥¹ 孫 剛²

　　(1.大連理工大學物理與光電學院；2.北京航空制造工程研究所高能束流加工技術國家級重點實驗室)

　　摘要：本文采用多種工藝在鈦合金基體上制備了不同疏水薄膜，通過AFM 及SEM 分析了薄膜的表面形貌，通過接觸角測試法表征了薄膜的疏水性能和表面能，比較了不同表面粗糙度對薄膜疏水性能影響。

　　試驗結果表明隨著薄膜納米結構的增多和粗糙度變大，薄膜接觸角變大，疏水性能得到改善，并且帶有微納復合結構的薄膜接觸角提高的更多，通過相關工藝及參數的優化，使鈦合金基體的接觸角從70°提高到159°，實現了超疏水薄膜制備，這說明薄膜表面微結構在其疏水性能上扮演重要角色。

　　關鍵詞：表面形貌 疏水薄膜 接觸角