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磁過濾陰極電弧技術沉積高sp3鍵含量四面體非晶碳薄膜的工藝優化研究
通過對不同基片偏壓下磁過濾器電流對四面體非晶碳( ta-C) 薄膜sp3鍵含量影響的研究, 探討了磁過濾陰極電弧技術制備高sp3 鍵ta-C 薄膜優化工藝條件。
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硬質合金表面TiAlZrCr/(Ti,Al,Zr,Cr)N梯度膜的微結構與力學性能
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Ka波段濾波器加載三間隙耦合腔輸出回路的仿真和測試
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Al2O3-Cr多層中高溫選擇吸收薄膜的研究
本文提出基于Al2O3 介質和金屬Cr 的多層結構的選擇吸收膜系, 首先采用電子束熱蒸發在硅基底上沉積了單層Cr 薄膜, 通過橢偏儀測試并分析了Cr 薄膜的光學常數。
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